TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II
PEPS II建立在TMC的*利PEPS(精密電子定位系統(tǒng))基礎(chǔ)上并對其進(jìn)行了改進(jìn)。通過添加新的數(shù)字控制器,PEPS II更易于使用,提供了更多功能,還有一個(gè)改進(jìn)的用戶界面。PEPS II是一種用于TMC氣動隔振系統(tǒng)的數(shù)字非接觸式高度控制系統(tǒng)。這種系統(tǒng)通常包括機(jī)械高度閥和機(jī)械高度傳感連桿。其應(yīng)用包括需要改善穩(wěn)定時(shí)間和提高產(chǎn)量的半導(dǎo)體制造設(shè)備以及需要最佳噪聲性能和平臺穩(wěn)定性的精密實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。
TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng)PEPS II特點(diǎn)
●數(shù)字控制,用戶友好的LCD界面
●用于Gimbal Piston、CSP和MaxDamp隔振系統(tǒng)的非接觸式電動氣動高度控制
●Z軸位置重現(xiàn)性:10微米
●由于消除了傳統(tǒng)機(jī)械高度控制系統(tǒng)的杠桿接觸點(diǎn),從而改善了隔振效果
●氣動前饋功能最大限度地減少了Z軸對X-Y平臺運(yùn)動的反應(yīng)
●可以調(diào)整以快速穩(wěn)定由X-Y平臺引起的運(yùn)動
●可選的“VX"功能集成了慣性傳感器,用于主動阻尼垂直隔振器共振
●與“軟塢站"兼容。允許在沒有運(yùn)動安裝的情況下加載/卸載晶圓
●相稱的電子閥門?!伴_關(guān)"或傳統(tǒng)電子閥不會產(chǎn)生脈沖噪聲
●排氣管用于廢氣的清潔處理
●邏輯??靠刂坪蜖顟B(tài)
規(guī)格
物理尺寸 | PEPS II控制器 1.72英寸(43.7mm)高 x 8.0英寸(203mm)寬 x 9.4英寸(240 mm)深 |
重量 | PEPS II控制器:約3.0磅(1.2千克) |
環(huán)境 (參見EN 61010-1:1993, EN 61010-1/A2: 1995) | 僅限室內(nèi)使用,最高2,000米海拔(6560英尺) 最大允許溫度范圍:5°C至35°C 最大允許濕度:31°C以下時(shí)為80%,40°C時(shí)線性降至50%相對濕度 主電源電壓容差:85 VAC - 240 VAC 過電壓類別:2 污染等級(IEC 664):2 通風(fēng)要求:兩側(cè)間隙25毫米,上下間隙0毫米 |
電源要求 | 電源輸入電壓范圍:90-230 VAC 輸入頻率范圍:50-60 Hz |
PEPS II用戶界面 (前面板) | 電源開關(guān) 4個(gè)菜單按鈕 LCD顯示20 x 2個(gè)字符 2個(gè)診斷插座(BNC型) 三色狀態(tài)指示燈 USB 端口 |
PEPS II 界面 (后面板) | 帶EMI濾波器的交流電源輸入 1個(gè)空氣輸入卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道 1個(gè)空氣輸出(排氣)卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道 4個(gè)空氣卡入式端口,用于1/4英寸外徑管道(每個(gè)隔振器一個(gè)) DB-25公頭輸入端-輸出端和前饋插座 1個(gè)Phoenix 0.2英寸間距6引腳綠色接頭(垂直接近傳感器) 1個(gè)Phoenix 3.5毫米間距6引腳黑色接頭(水平接近傳感器) 接地螺紋螺柱(#10-32螺紋) DB-25 F插座:1個(gè)數(shù)字輸入端,3個(gè)地震檢波器傳感器接口(“-VX"選件) DB-25 F插座:1個(gè)數(shù)字輸入端,3個(gè)電流輸出接近傳感器(可選) |
PEPS II 性能規(guī)格 | 模擬輸入(單極):8 x 12位(16位使用過采樣),0 ... 3.0 V滿量程 模擬輸入(前饋):5 x 12位 (16位使用過采樣),±9 V滿量程 模擬輸入(單極)保護(hù):+5伏,-0.5 V限幅 模擬輸入(前饋)保護(hù):±15伏限幅 模擬輸出:4 x 12位(16位使用采樣),0 ... 3.0 V滿量程 模擬輸出(可選):8 x 16位,0 ... 3.0 V滿量程 模擬輸出保護(hù):無限短路保護(hù),+5伏限幅 數(shù)字輸入電壓額定值:0 ... +3.3 V,+5 V容差(+5伏限幅) 數(shù)字輸出額定值:0 ... + 3.3 V,最大20 mA 數(shù)字I/O保護(hù):+5伏,-0.5伏限幅 外部可用電源:+5 VDC,最大2.0 A;+15 VDC,最大1.0 A(最大20瓦) 通訊端口:USB,在PC上顯示為RS-232 處理器:ARM7TDMI / 41.78 MHz 控制回路率:100 Hz - 2.0 KHz 接近傳感器:3個(gè)垂直、(3個(gè)水平可選)渦流,NAMUR 0-20 mA輸出 速度傳感器 - 地震檢波器(“-VX"選件):3個(gè)垂直,電流輸出 |
氣動規(guī)格 | 長期高度穩(wěn)定性:±50微米 長期傾斜穩(wěn)定性:±50微弧度 伺服閥:4 x 雙向可變節(jié)流孔比例伺服閥 閥門技術(shù):純甲類 最大輸入壓力:120 PSI或8.3巴或830 KPa 標(biāo)稱耗氣量:60標(biāo)準(zhǔn)升/分鐘(2標(biāo)準(zhǔn)立方英尺/分鐘) 空氣要求:潔凈、干燥的空氣,過濾至20微米或以上 故障安全:隔振器在電源故障或斷電時(shí)會放氣 氣動接頭:“一觸式"快速接頭,適用于1/4英寸外徑軟管 |
性能